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发明名称
摘要
申请公布号	JP4085162(B2)	申请公布日期	2008.05.14
申请号	JP20030378992	申请日期	2003.11.07
申请人		发明人
分类号	C30B29/06;H01L21/304;C30B33/10	主分类号	C30B29/06
代理机构		代理人
主权项
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