具有外加磁场的真空淀积薄膜和薄膜热处理设备

摘要

本发明涉及具有外加磁场的真空淀积薄膜和薄膜热处理设备，包括样品室和在样品室一端设有进气口的球形进气室，另一端通过密封机构与真空机组的管道相通，样品室设真空计；密封机构的压丝和密封接头中间放置密封橡胶圈，压丝与密封接头螺合固定在真空室另一端口上，该端口通过密封机构与真空机组的管道连通，加热器的导线引出后与温度控制电源电连接；密封接头侧壁上开有水进口和出口；加热器架固定在密封接头上；红外测温仪设置在真空腔外；外加磁场系统由2个电磁铁和铁芯，分别设置在样品室两边，并且两块铁芯的N极，S极相对设置，两块电磁铁与磁场控制电源电连接。用该设备制备薄膜和进行热处理后的样品性能得到提高，该设备结构制造简单。

主权项

1.一种具有外加磁场的真空淀积薄膜和薄膜热处理设备，包括样品室(14)，在所述的样品室(14)内安装一加热器(12)，该加热器(12)安装在加热器架(11)上，并通过红外测温仪(5)与温度控制电源(13)电连接，加热器(12)与温度控制电源(13)电连接组成的温度控制系统；以及一由真空计(16)、真空机组与样品室(14)密封连通组成的真空系统(4)；其特征在于：所述的样品室(14)由一根石英玻璃管(17)，和在石英玻璃管(17)一端密封安装球形进气室(15)，该球形进气室(15)上设有进气口，另一端通过密封机构与真空机组的管道相连通，以及所述的真空计(16)密封安装在样品室(14)壁上组成；所述的密封机构由一中间开孔的帽状的压丝(6)，和一中间开孔的“凹”状的密封接头(7)，其压丝(6)和密封接头(7)中间放置一密封橡胶圈(8)，并且压丝(6)与密封接头(7)螺合固定在真空室(14)的另一端口上组成，该端口通过所述的密封机构与真空机组的管道连通，以及将安装在样品室(14)内的加热器(12)的导线引出；密封接头(7)的侧壁上开有冷却循环水(9)的进口和出口；所述加热器架(11)固定在密封接头(7)上；所述红外测温仪(5)设置在真空腔外；还包括磁场系统，所述的磁场系统由2个电磁铁(1)和铁芯(2)，分别设置在样品室(14)两边，并且两块铁芯的NS极相对设置，两块电磁铁通过磁场控制电源(3)电连接。