半导体双端面泵浦三次谐波紫外激光器

摘要

本发明公开一种半导体双端面泵浦三次谐波紫外激光器，包括半导体泵浦模块、光学耦合系统、基波增益介质晶体、二次谐波非线性晶体、三次谐波非线性晶体、波片、调制器件、激光谐振腔镜、紫外激光反射镜。半导体泵浦模块输出的泵浦光传输到光学耦合系统中，经光学耦合系统准直聚焦后直接耦合于基波增益介质晶体端面，基波增益介质晶体受激发射出的光在激光谐振腔内经激光谐振腔镜的选模作用形成基频光束，在调制器件的调制作用下，得到调制激光；调制后的基频激光经二次谐波非线性晶体后得到绿激光输出后经波片偏振旋转；相同偏振态的基频激光和绿激光射入三次谐波非线性晶体内进行混频，得到三次谐波紫外激光输出。

主权项

1.一种半导体双端面泵浦三次谐波紫外激光器，包括半导体泵浦模块、光学耦合系统、基波增益介质晶体、二次谐波非线性晶体、三次谐波非线性晶体、波片、调制器件、激光谐振腔镜、紫外激光反射镜，其特征在于：半导体泵浦模块输出的泵浦光传输到光学耦合系统中，经光学耦合系统准直聚焦后耦合于基波增益介质晶体端面，基波增益介质晶体的“C”轴方向竖直向上放置；基波增益介质晶体吸收泵浦光能量后产生受激发射，发射出的光在激光谐振腔内经激光谐振腔镜的选模作用形成高光束质量的基频光束，在调制器件的调制作用下，得到高峰值功率的调制激光；调制后的基频激光经二次谐波非线性晶体后得到绿激光输出后经波片偏振旋转；相同偏振态的基频激光和绿激光射入三次谐波非线性晶体内进行混频，得到三次谐波紫外激光输出；剩余的绿激光在谐振腔镜的反射作用下再次通过三次谐波非线性晶体；第一次转换成的三次谐波紫外激光经谐振腔镜的反射作用与第二次转换成的三次谐波紫外激光一起经紫外激光反射镜的反射输出激光谐振腔腔外，得到三次谐波紫外激光输出。