发明名称 |
连续批量制备金刚石膜的制备系统 |
摘要 |
本发明针对目前的CVD金刚石制备时效率低、成本高的问题,设计了一种连续批量制备金刚石膜的制备系统,其特征是在壳体(26)中、衬底工作台(1)的周围安装有衬底仓库(8),机械手(3)与伸缩杆(27)一端相连,伸缩杆(27)中安装有拉杆(28),拉杆(28)的一端与机械手(3)的执行机构(301)相螺接,另一端安装有手轮(17);金属软管(11)的一端与锥形孔(29)周围的壳体(26)密封相连,另一端与伸缩杆(27)密封相连;在壳体(26)上开有透明密闭观察窗(30)。保证了CVD金刚石膜的连续沉积和碳化后的灯丝连续使用,降低了灯丝的消耗,减少了重新安装灯丝、抽真空、碳化灯丝、真空室充气等时间,提高了金刚石膜的制备效率,降低了CVD金刚石膜的制造成本。 |
申请公布号 |
CN100387752C |
申请公布日期 |
2008.05.14 |
申请号 |
CN200510094828.9 |
申请日期 |
2005.10.14 |
申请人 |
南京航空航天大学 |
发明人 |
左敦稳;卢文壮;徐锋;黎向锋;余亚平;王珉 |
分类号 |
C23C16/27(2006.01);C23C16/458(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/27(2006.01) |
代理机构 |
南京天华专利代理有限责任公司 |
代理人 |
瞿网兰 |
主权项 |
1.一种连续批量制备金刚石膜的制备系统,它主要包括一个真空密闭的壳体(26)和位于壳体(26)中的安置沉积金刚石膜衬底(2)的衬底工作台(1),其特征是在壳体(26)中、衬底工作台(1)的周围安装有衬底仓库(8),机械手(3)与伸缩杆(27)伸入壳体(26)中的一端相连,伸缩杆(27)中安装有拉杆(28),拉杆(28)位于壳体(26)中的一端伸出伸缩杆(27)与机械手(3)的执行机构(301)相螺接,拉杆(28)位于壳体(26)外的另一端也伸出伸缩杆(27)外,其上安装有手轮(17);壳体(26)上设有穿装伸缩杆(27)的锥形孔(29),伸缩杆(27)位于壳体(26)外的一端上安装有金属软管(11),金属软管(11)的一端与锥形孔(29)周围的壳体(26)密封相连,另一端与伸缩杆(27)密封相连;在与锥形孔(29)相对位置处的壳体(26)上开有密闭透明观察窗(30)。 |
地址 |
210016江苏省南京市御道街29号 |