发明名称 Method for producing a copper thin film
摘要
申请公布号 EP1662020(B1) 申请公布日期 2008.05.14
申请号 EP20060004367 申请日期 2004.06.29
申请人 MEC COMPANY LTD. 发明人 OTANI, MINORU;HISADA, JUN;MAWATARI, TOYOKI
分类号 C07F1/08;C23C16/00;C07F1/00;C23C18/08;H05K3/40 主分类号 C07F1/08
代理机构 代理人
主权项
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