发明名称 |
限流电阻 |
摘要 |
本发明公开了一种限流电阻,适用于静电放电(ESD)装置,该限流电阻包括:至少一个第一主动区,形成静电放电(ESD)晶体管的源极/漏极;以及至少一个具有螺旋形状的阻抗元件,形成于半导体结构的单层中;其中,该阻抗元件具有第一端耦接该第一主动区,及第二端耦接包含电源(Vdd或Vss)端的焊盘。本发明能够确保通过增加源极/漏极区的限流电组可以均匀导通,且不会造成氧化长度(LOD)效应。 |
申请公布号 |
CN101179070A |
申请公布日期 |
2008.05.14 |
申请号 |
CN200710136891.3 |
申请日期 |
2007.07.23 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
陈克明 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01);H01L23/60(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
陈晨 |
主权项 |
1.一种限流电阻,适用于静电放电装置,该限流电阻包括:至少一个第一主动区,形成静电放电晶体管的源极/漏极;及至少一个具有螺旋形状的阻抗元件,形成于半导体结构的单层中;其中,该阻抗元件具有第一端耦接该第一主动区,及第二端耦接焊盘。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |