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发明名称 ACTUATOR FOR AN OPTICAL-MECHANICAL SCANNER AND A METHOD USING SAID ACTUATOR
摘要
申请公布号 EP1488103(B1) 申请公布日期 2008.05.14
申请号 EP20030744790 申请日期 2003.03.08
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH 发明人 KOHL, MANFRED;YAMAUCHI, KOYOSHI;OHTSUKA, MAKOTO;TAKAGI, TOSHIYUKI
分类号 G02B26/10;F03G7/06 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
主权项
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