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发明名称 CHALCOGENIDE COMPOUND TARGET, METHOD OF FORMING THE CHALCOGENIDE COMPOUND TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING A PHASE-CHANGE MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 KR100829601(B1) 申请公布日期 2008.05.14
申请号 KR20060094217 申请日期 2006.09.27
申请人 发明人
分类号 H01L27/115 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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