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摘要
申请公布号
JP4086792(B2)
申请公布日期
2008.05.14
申请号
JP20040026455
申请日期
2004.02.03
申请人
发明人
分类号
C23C14/34;H01L21/285
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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