发明名称 |
一种利用有效面积来建立记忆体电路的成品率模型的方法 |
摘要 |
本发明一种利用有效面积来建立记忆体电路成品率模型的方法,包括:(1)建立记忆体原始成品率模型;(2)建立记忆体特征失效成品率的模型;(3)记忆体特征失效的修复计算;(4)记忆体最终成品率的计算;(5)记忆体特征失效和工艺模块的缺陷率的互逆运算,建立记忆体电路成品率模型。本发明方法利用记忆体的设计版图,记忆体可利用的修复资源以及生产线各个工艺模块的缺陷率曲线,就可以精确地预估记忆体的初始成品率,修复之后的成品率,主要的失效特征的成品率,并且能够优化修复资源的设计。 |
申请公布号 |
CN101178745A |
申请公布日期 |
2008.05.14 |
申请号 |
CN200710157002.1 |
申请日期 |
2007.11.16 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
郑勇军;马铁中;史峥;严晓浪 |
分类号 |
G06F17/50(2006.01) |
主分类号 |
G06F17/50(2006.01) |
代理机构 |
杭州天勤知识产权代理有限公司 |
代理人 |
胡红娟 |
主权项 |
1.一种利用有效面积来建立记忆体电路成品率模型的方法,包括:(1)建立记忆体原始成品率模型;(2)建立记忆体特征失效成品率的模型;(3)记忆体特征失效的修复计算;(4)记忆体最终成品率的计算;(5)记忆体特征失效和工艺模块的缺陷率的互逆运算,建立记忆体电路成品率模型。 |
地址 |
310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号 |