发明名称 一种利用有效面积来建立记忆体电路的成品率模型的方法
摘要 本发明一种利用有效面积来建立记忆体电路成品率模型的方法,包括:(1)建立记忆体原始成品率模型;(2)建立记忆体特征失效成品率的模型;(3)记忆体特征失效的修复计算;(4)记忆体最终成品率的计算;(5)记忆体特征失效和工艺模块的缺陷率的互逆运算,建立记忆体电路成品率模型。本发明方法利用记忆体的设计版图,记忆体可利用的修复资源以及生产线各个工艺模块的缺陷率曲线,就可以精确地预估记忆体的初始成品率,修复之后的成品率,主要的失效特征的成品率,并且能够优化修复资源的设计。
申请公布号 CN101178745A 申请公布日期 2008.05.14
申请号 CN200710157002.1 申请日期 2007.11.16
申请人 浙江大学 发明人 郑勇军;马铁中;史峥;严晓浪
分类号 G06F17/50(2006.01) 主分类号 G06F17/50(2006.01)
代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 代理人 胡红娟
主权项 1.一种利用有效面积来建立记忆体电路成品率模型的方法,包括:(1)建立记忆体原始成品率模型;(2)建立记忆体特征失效成品率的模型;(3)记忆体特征失效的修复计算;(4)记忆体最终成品率的计算;(5)记忆体特征失效和工艺模块的缺陷率的互逆运算,建立记忆体电路成品率模型。
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