磁控溅射制备减摩IF－WS<SUB>2</SUB>/IF－MoS<SUB>2</SUB>复合薄膜的方法

摘要

一种固体润滑技术领域的磁控溅射制备减摩IF-WS₂/IF-MoS₂复合薄膜的方法。本发明采用IF-WS₂靶材与IF-MoS₂共溅射，通过调节二者的功率，溅射气压、偏压制备出减摩IF-WS₂/IF-MoS₂复合薄膜，具体工艺参数为：气压为0.1～1Pa，电源功率为100～300W，基体的偏压为-100V。由于复合薄膜中IF-WS₂和IF-MoS₂两种固体润滑剂，由于结构相同，晶格常数接近而发生特殊的物理化学作用，使得该减摩复合薄膜在大气和真空环境都具有低的摩擦系数，具有较高的耐潮湿、抗氧化性能和很高的耐磨性能，同时由于溅射有金属Ni中间层，使得薄膜基底有较高的结合力，可用于制造在真空和潮湿空气中交叉使用的轴承、陀螺仪和齿轮等零部件表面的减摩防护薄膜。

主权项

1.一种磁控溅射制备减摩IF-WS2/IF-MoS2复合薄膜的方法，其特征在于：IF-WS2靶材与IF-MoS2靶材共溅射，通过调节二者的功率，溅射气压、偏压制备出减摩IF-WS2/IF-MoS2复合薄膜，磁控溅射工艺参数为：气压为0.1～1Pa，功率为100～300W，基体的偏压为-100V。