发明名称 一种铝锰玻璃粉及其在a-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>单晶片的应用
摘要 本发明公开了一种铝锰玻璃粉及其在a-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>单晶片的应用,所述的铝锰玻璃粉包括重量浓度为MnO:50~55%、Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>:25~30%、SiO<SUB>2</SUB>:15-20%、TiO<SUB>2</SUB>:1~2%,铝锰玻璃粉的粒度2~3μm,纯度不小于99。本发明与现有技术相比,通过铝锰玻璃粉的配方提高了a-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>单晶片中的玻璃相,使金属化层与单晶片的反应活性增强,提高了a-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>单晶片与金属封接件的封接强度,降低了封接件的漏气率,与钼铜镍合金等金属件焊接后,抗拉强度比原来提高了70%,金属化的烧结温度由1500℃降至1300-1360℃,大大降低了对设备的要求,并节约了大量能源。
申请公布号 CN101177336A 申请公布日期 2008.05.14
申请号 CN200710025628.7 申请日期 2007.08.03
申请人 安徽华东光电技术研究所 发明人 吴华夏;阮智文;肖兵;周恩荣;刘志意;李锐;李娟
分类号 C03C8/24(2006.01);C04B37/02(2006.01);C30B33/06(2006.01);H01L21/56(2006.01) 主分类号 C03C8/24(2006.01)
代理机构 芜湖安汇知识产权代理有限公司 代理人 徐晖
主权项 1.一种铝锰玻璃粉,其特征在于:包括重量浓度为MnO:50~55%、Al2O3:25~30%、SiO2:15-20%、TiO2:1~2%,铝锰玻璃粉的粒度2~3μm,纯度不小于99%。
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