发明名称 |
一种铝锰玻璃粉及其在a-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>单晶片的应用 |
摘要 |
本发明公开了一种铝锰玻璃粉及其在a-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>单晶片的应用,所述的铝锰玻璃粉包括重量浓度为MnO:50~55%、Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>:25~30%、SiO<SUB>2</SUB>:15-20%、TiO<SUB>2</SUB>:1~2%,铝锰玻璃粉的粒度2~3μm,纯度不小于99。本发明与现有技术相比,通过铝锰玻璃粉的配方提高了a-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>单晶片中的玻璃相,使金属化层与单晶片的反应活性增强,提高了a-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>单晶片与金属封接件的封接强度,降低了封接件的漏气率,与钼铜镍合金等金属件焊接后,抗拉强度比原来提高了70%,金属化的烧结温度由1500℃降至1300-1360℃,大大降低了对设备的要求,并节约了大量能源。 |
申请公布号 |
CN101177336A |
申请公布日期 |
2008.05.14 |
申请号 |
CN200710025628.7 |
申请日期 |
2007.08.03 |
申请人 |
安徽华东光电技术研究所 |
发明人 |
吴华夏;阮智文;肖兵;周恩荣;刘志意;李锐;李娟 |
分类号 |
C03C8/24(2006.01);C04B37/02(2006.01);C30B33/06(2006.01);H01L21/56(2006.01) |
主分类号 |
C03C8/24(2006.01) |
代理机构 |
芜湖安汇知识产权代理有限公司 |
代理人 |
徐晖 |
主权项 |
1.一种铝锰玻璃粉,其特征在于:包括重量浓度为MnO:50~55%、Al2O3:25~30%、SiO2:15-20%、TiO2:1~2%,铝锰玻璃粉的粒度2~3μm,纯度不小于99%。 |
地址 |
241000安徽省芜湖市城南高新技术开发区华厦科技园 |