发明名称 |
具有注入的压阻区的聚合物压力传感器 |
摘要 |
主要是塑料和/或玻璃的微机械加工的压阻压力和/或应变传感器。在一种示例实施方案中,所述压阻传感器形成在聚合物基材上。在聚合物基材上提供第一选择注入区以形成聚合物基材上的压阻区。接着在至少部分第一选择注入区上提供第二选择注入区以调节第一选择注入区的电导率。该示例传感器可以选择注入,例如氮,以产生压阻区,以及硼以调节压阻区的电导率。磷或任何其它适合材料也可以用于调节压阻区的电导率,根据需要。所述压阻压力/应变传感器可以由单个基材、或两个或多个基材形成,得到的压力/应变传感器可以设置在塑料包装内,如果需要。 |
申请公布号 |
CN101180525A |
申请公布日期 |
2008.05.14 |
申请号 |
CN200680017952.8 |
申请日期 |
2006.01.17 |
申请人 |
霍尼韦尔国际公司 |
发明人 |
C·P·科比亚努;B·C·塞尔班;I·帕维列斯库;M·戈洛加努 |
分类号 |
G01L9/06(2006.01);G01L1/18(2006.01);G01L1/22(2006.01) |
主分类号 |
G01L9/06(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
刘锴;范赤 |
主权项 |
1.一种压阻压力传感器,包括:聚合物基材;聚合物基材上的第一选择注入区以产生压阻区;以及聚合物基材上的第二选择注入区以调节压阻区的电导率。 |
地址 |
美国新泽西州 |