发明名称 SHALLOW TRENCH MANUFACTURING METHOD FOR ISOLATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100829370(B1) 申请公布日期 2008.05.13
申请号 KR20020083432 申请日期 2002.12.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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