| 主权项 |
1.一种化学放大型正向阻剂组成物,其系包括: 树脂,而该树脂具有衍生自对-羟苯乙烯之聚合单 位及具有对酸不稳定基团之聚合单位,且该树脂本 身不溶或难溶于硷性介质,而藉由所产生之酸的作 用使酸不稳定基团断裂后则变成硷可溶者; 辐射感应之酸产生剂;以及 下式(I)所示之化合物: 其中,R1及R2分别独立地表示具有1至15个碳原子之 烷基、具有1至8个碳原子而其中至少3个氢原子系 经氟原子取代之烷基、或具有6至10个碳原子之芳 基,且对该树脂100重量份,系含有0.3至30重量份辐射 感应之酸产生剂以及0.01至10重量份式(Ⅰ)所示之 化合物者。 2.如申请专利范围第1项之化学放大型正向阻剂组 成物,其中,该具有对酸不稳定之基团之聚合单位 系如下式(Ⅱ)所示: 其中,R3表具有1至4个碳原子之烷基;R4表具有1至6个 碳原子之烷基或具有5至7个碳原子之环烷基;或R3 与R4结合形成四伸甲基链。 3.如申请专利范围第1项之化学放大型正向阻剂组 成物,其中,该具有对酸不稳定之基团之聚合单位 系如下式(Ⅲa)、(Ⅲb)及(Ⅲc)之一所示: 其中,R5至R7分别独立地表示氢原子或甲基;及R8至R 13分别独立地表示具有1至8个碳原子之烷基。 4.如申请专利范围第1项之化学放大型正向阻剂组 成物,系另包括硷性含氮有机化合物。 |
