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发明名称
摘要
申请公布号 JP2008515243(A) 申请公布日期 2008.05.08
申请号 JP20070534873 申请日期 2005.10.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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