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Bei einem Verfahren zur Anregung einer Gaslaseranordnung (11) mit mehreren HF-Signalen werden zumindest zwei gepulste HF-Signale erzeugt und zumindest zwei Elektroden oder Elektrodenpaare (12-15) der Gaslaseranordnung (11) mit jeweils einem gepulsten HF-Signal versorgt, wobei zumindest zwei Elektroden oder Elektrodenpaare (12-15) mit zueinander phasenversetzt gepulsten HF-Signalen versorgt werden. Dadurch kann die Welligkeit der Laserleistung reduziert werden.
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