发明名称 Verfahren zum Züchten eines Halbleiterkristalls
摘要
申请公布号 DE69515020(D1) 申请公布日期 2008.05.08
申请号 DE1995615020 申请日期 1995.10.17
申请人 FUJI XEROX CO. LTD. 发明人 MIYAMOTO, YASUAKI;ASAI, ICHIROU
分类号 H01L21/20;H01L21/205;C30B25/18;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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