摘要 |
Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat und einer um eine Drehachse schwenkbaren Mikroschwingvorrichtung vorgeschlagen, wobei die Mikroschwingvorrichtung mittels einer Aufhängung schwingfähig mit dem Substrat verbunden ist, wobei sich die Mikroschwingvorrichtung im wesentlichen flächenhaft entlang einer ersten Richtung parallel zur Drehachse und entlang einer zweiten Richtung senkrecht zur Drehachse erstreckt, wobei die Mikroschwingvorrichtung entlang der zweiten Richtung gesehen an entgegengesetzten Enden über einen ersten Aufhängungsteil und einen zweiten Aufhängungsteil mit dem Substrat verbunden ist.
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