发明名称 Mikromechanisches Bauelement mit einer Mikroschwingvorrichtung und Verwendung eines Bauelements
摘要 Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat und einer um eine Drehachse schwenkbaren Mikroschwingvorrichtung vorgeschlagen, wobei die Mikroschwingvorrichtung mittels einer Aufhängung schwingfähig mit dem Substrat verbunden ist, wobei sich die Mikroschwingvorrichtung im wesentlichen flächenhaft entlang einer ersten Richtung parallel zur Drehachse und entlang einer zweiten Richtung senkrecht zur Drehachse erstreckt, wobei die Mikroschwingvorrichtung entlang der zweiten Richtung gesehen an entgegengesetzten Enden über einen ersten Aufhängungsteil und einen zweiten Aufhängungsteil mit dem Substrat verbunden ist.
申请公布号 DE102006051197(A1) 申请公布日期 2008.05.08
申请号 DE200610051197 申请日期 2006.10.30
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 OHMS, TORSTEN;PIRK, TJALF
分类号 B81B3/00;G02B26/08 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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