| 发明名称 |
Partikelhaltige Ätzpasten für Siliziumoberflächen und -schichten |
| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft neue Ätzmedien in Form von Ätzpasten zum ganzflächigen und selektiven Ätzen von Siliziumoberflächen und -schichten sowie deren Verwendung.</p> |
| 申请公布号 |
DE102006051952(A1) |
申请公布日期 |
2008.05.08 |
| 申请号 |
DE20061051952 |
申请日期 |
2006.11.01 |
| 申请人 |
MERCK PATENT GMBH |
发明人 |
STOCKUM, WERNER;KLEIN, SYLKE;KUEBELBECK, ARMIN |
| 分类号 |
C09K13/02 |
主分类号 |
C09K13/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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