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发明名称 VAKUUM PLASMABEHANDLUNGSGERÄT MIT EINER SPULE DEREN ZWISCHENTEIL EINE HÖHERE MAGNETISCHE KOPPLUNGSDICHTE ZUM PLASMA ALS DEREN MITTEL- UND AUSSENTEILE AUFWEIST
摘要
申请公布号 DE69839302(D1) 申请公布日期 2008.05.08
申请号 DE19986039302 申请日期 1998.09.16
申请人 LAM RESEARCH CORP. 发明人 HOLLAND, JOHN PATRICK;DEMOS, ALEX
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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