发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Justierung eines piezoelektrischen Ring-Motors
摘要
申请公布号 DE112006001288(A5) 申请公布日期 2008.05.08
申请号 DE200611001288T 申请日期 2006.06.20
申请人 SIEMENS AG 发明人 BACHMAIER, GEORG;GOTTLIEB, BERNHARD;HENNIG, OLIVER;KAPPEL, ANDREAS;SCHWEBEL, TIM;TUMP, CHRISTAN
分类号 H01L41/09;H02N2/10 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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