DEVICE FOR POSITIONING AND/OR PRESSING A PLANAR COMPONENT RELATIVE TO A SUBSTRATE AND METHOD FOR POSITIONING A PICKING TOOL RELATIVE TO A SUBSTRATE

摘要

Eine Vorrichtung (1) zum Anpressen eines flächigen Bauteils (2) gegen ein Substrat (3), vorzugsweise an einem Die-Bonder, verfügt über eine Werkzeughalterung (4), an welcher ein vorzugsweise in mehreren Freiheitsgraden bewegliches Aufnahmewerkzeug 5 angeordnet ist. Dieses Aufnahmewerkzeug ist über wenigstens ein mit Druckluft beaufschlagbares Luftlager (6, 7, 8) direkt oder indirekt an der Werkzeughalterung gelagert, wobei die Lagerposition am Luftlager im drucklosen Zustand unter Vorspannkraft fixierbar ist. Bei den Luftlagern kann es sich um Kippluftlager und oder um Rotationsluftlager handeln. Mit einer derartigen Vorrichtung kann das Aufnahmewerkzeug optimal unter Prozessbe- dingungen auf das Substrat positioniert werden. Die Positionie- rung erfolgt bei aktiviertem Luftlager, wobei die einmal einge- nommene Position durch optionales Blockieren der Luftlager aufrecht erhalten bleibt.