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发明名称 Method of fabrication and testing of electronic circuit structures in a semiconducting substrate
摘要
申请公布号 EP1134801(A3) 申请公布日期 2008.05.07
申请号 EP20010106707 申请日期 2001.03.16
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KARL, JUERGEN;ZIBERT, MARTIN;ROSSKOPF, VALENTIN, DR.
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L23/544 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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