LASER OUTPUT BEAM WAVEFRONT SPLITTER FOR BANDWIDTH SPECTRUM CONTROL,申请号EP20050766736-传众专利搜索

发明名称	LASER OUTPUT BEAM WAVEFRONT SPLITTER FOR BANDWIDTH SPECTRUM CONTROL
摘要
申请公布号	EP1766737(A4)	申请公布日期	2008.05.07
申请号	EP20050766736	申请日期	2005.06.17
申请人	CYMER, INC.	发明人	SANDSTROM, RICHARD, L.;BROWN, DANIEL, J., W.;ERSHOV, ALEXANDER, I.;FOMENKOV, IGOR, V.;PARTLO, WILLIAM, N.
分类号	H01S3/22;G03F7/20;H01S3/08;H01S3/097;H01S3/10;H01S3/1055;H01S3/13;H01S3/223	主分类号	H01S3/22
代理机构		代理人
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