发明名称 |
全自动上芯机及其控制方法 |
摘要 |
本发明是一种全自动上芯机及其控制方法,该上芯机包括机架,机架下端固定有控制箱,顶端安装有晶圆台和送料槽,晶圆台下方安装有顶针,送料槽两端分别连接有上料器和下料器,并连接有勾爪和焊接臂,其上方安装有图像采集装置,下方安装有加热器,图像采集装置与控制箱中的控制电路相连接。本发明完全采用Linux系统进行视觉图像处理和运动控制系统开发,实现了多线程的调度算法,提高了程序系统资源的利用率和执行效率,可以对芯片进行质量检测和快速绑定,快速封装三极管,同时完成多任务协调处理调度器的开发,可解决该类设备复杂机械多任务调度的技术难题。 |
申请公布号 |
CN100386855C |
申请公布日期 |
2008.05.07 |
申请号 |
CN200510036192.2 |
申请日期 |
2005.08.01 |
申请人 |
华南理工大学 |
发明人 |
胡跃明;戚其丰;廖广军 |
分类号 |
H01L21/50(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/50(2006.01) |
代理机构 |
广州市华学知识产权代理有限公司 |
代理人 |
李卫东;罗观祥 |
主权项 |
1.一种全自动上芯机,其特征是,包括机架,所述机架下端固定有控制箱,顶端安装有晶圆台和送料槽,所述晶圆台下方安装有顶针,所述送料槽两端分别连接有上料器和下料器,并连接有勾爪和焊接臂,其上方安装有图像采集装置,下方安装有加热器,所述图像采集装置与控制箱中的控制电路相连接;所述晶圆台包括晶元盘,所述晶元盘通过X方向传动丝杆和Y方向传动丝杆分别连接有X方向步进电机和Y方向步进电机,所述X方向传动丝杆和Y方向传动丝杆还分别连接有X方向传感器和Y方向传感器,所述X方向传感器和Y方向传感器通过信号放大电路板与控制电路相连接,所述X方向步进电机和Y方向步进电机通过驱动板卡与控制电路相连接。 |
地址 |
510640广东省广州市天河区五山路381号 |