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发明名称 DETECTION OF CONTAMINANTS WITHIN FLUID PUMPED BY A VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 EP1668253(B1) 申请公布日期 2008.05.07
申请号 EP20040768529 申请日期 2004.09.16
申请人 EDWARDS LIMITED 发明人 BREWSTER, BARRIE, DUDLEY
分类号 F04D19/04;F04B37/14;F04D27/00;G01M3/20 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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