发明名称 | 不含甲醛的无电镀铜组合物 | ||
摘要 | 揭示了无电铜镀浴和铜合金镀浴。这些无电镀浴是不含甲醛的,是环境友好的。这些无电镀浴是稳定的,在基板上沉积明亮的铜或铜合金。 | ||
申请公布号 | CN101173352A | 申请公布日期 | 2008.05.07 |
申请号 | CN200710127866.9 | 申请日期 | 2007.07.06 |
申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | M·A·波勒;A·J·科布勒;A·辛格;D·V·赫斯特 |
分类号 | C23C18/40(2006.01) | 主分类号 | C23C18/40(2006.01) |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 沙永生 |
主权项 | 1.一种组合物,其包含一种或多种铜离子源、一种或多种螯合剂、和丙酮醛,所述螯合剂选自乙内酰脲和乙内酰脲衍生物。 | ||
地址 | 美国马萨诸塞州 |