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发明名称 Apparatus and method for balancing and for providing a compliant range to a test head
摘要
申请公布号 EP1712923(A3) 申请公布日期 2008.05.07
申请号 EP20060014164 申请日期 2001.09.20
申请人 INTEST CORPORATION 发明人 AKOUKA, HENRI, M.;HOLT, ALYN, R.;NY, NIL, O.
分类号 G01R31/26;G01R31/28;B23Q1/48;B23Q11/00;B25J13/08;B25J19/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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