接合装置

摘要

使凹形状的框体倒转并在框体的下部开口安装透明吸附部来构成吸附头部，将具有2块反射镜的投影部从该吸附头部的侧部开口向前端送入。然后，将被吸附部吸附保持的薄片部件的表面所形成的起到对准记号作用的凸起电极、以及标注在基板表面的对准记号映射在投影部的两反射镜上。映射在该两反射镜上的两对准记号被投影在与吸附头部分离地配置在侧方侧的CCD摄像机上。

主权项

1.一种接合装置，用以将薄片部件安装到保持在工件保持构件的工件上，其特征在于，包括：吸附头部，该吸附头部包含：呈箱状且至少侧面的一部分和下面开口的框体以及安装于所述框体的下面开口用以保持所述薄片部件的透明的薄片保持构件；在所述吸附头部的框体侧面的开口内进退、透过所述薄片保持构件而对被所述薄片保持构件保持的薄片部件和被所述工件保持构件保持的工件的用以识别薄片部件安装部位的基准位置进行辨识的辨识构件；使所述吸附头部绕保持所述薄片部件的该薄片部件的中心纵轴旋转的第1驱动构件；使所述吸附头部和所述工件保持构件相对地升降的第2驱动构件；使所述吸附头部和所述工件保持构件相对地水平移动的第3驱动构件；以及根据所述辨识构件的辨识结果检测出所述薄片部件和工件的基准位置之间的相对位置偏移、并驱动控制所述第1驱动构件和第3驱动构件以校正其位置偏移的控制构件。