| 发明名称 | 用于制造等离子体反应器部件的方法和装置 | ||
| 摘要 | 在此提供一种制造氧化钇部件的方法。在一个实施方式中，该方法包括烧结氧化钇样本，机械加工所烧结的样本以形成部件，以及通过以预定的加热速度加热部件而退火部件，在恒定退火温度下机械加工部件，以及以预定的冷却速度冷却部件。 | ||
| 申请公布号 | CN101172859A | 申请公布日期 | 2008.05.07 |
| 申请号 | CN200710143237.5 | 申请日期 | 2007.08.07 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | 埃尔米拉·赖亚博瓦;理查德·莱温顿;马德哈唯·R·钱德拉养德;阿米泰布·萨布哈维尔;达里恩·比文斯;珍妮弗·孙;杰·袁 |
| 分类号 | C04B35/50(2006.01);H05H1/00(2006.01);H01J37/32(2006.01) | 主分类号 | C04B35/50(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 1.一种制造氧化钇部件的方法，包括：(a)提供氧化钇样本；(b)烧结所述氧化钇样本；(c)机械加工所烧结的氧化物样本以形成部件；以及(d)退火所述部件。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||