发明名称 METHOD FOR FABRICATING MgO POLYCRYSTALLINE THIN FILM
摘要
申请公布号 EP1184484(B1) 申请公布日期 2008.05.07
申请号 EP20010904365 申请日期 2001.02.09
申请人 FUJIKURA LTD. 发明人 IIJIMA, YASUHIRO,;KIMURA, MARIKO,;SAITO, TAKASHI
分类号 C23C14/08;C23C14/46 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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