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发明名称
Ion beam scanning method and apparatus
摘要
申请公布号
EP1253620(A3)
申请公布日期
2008.05.07
申请号
EP20020015692
申请日期
1987.04.08
申请人
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC.
发明人
BERRIAN, DONALD W.;KAIM, ROBERT E.;VANDERPOT, JOHN W.
分类号
H01J37/04;H01J37/304;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
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