发明名称 | 低废气的聚胺基甲酸酯 | ||
摘要 | 本发明是关于一种低废气性聚胺基甲酸酯,其是用于例如微影术时必须将污染物维持在非常低含量的应用。具体而言,该聚胺基甲酸酯是基本上不含有含硅物质,其在制造电子装置时存在特定污染问题。该聚胺基甲酸酯可在过滤器组装中、或在制造电子组件的环境中用作为密封材料。测试该新颖聚胺基甲酸酯调配物显示其废气性显著地低于商品级可获得的由聚乙烯制成的密封材料。 | ||
申请公布号 | CN101175831A | 申请公布日期 | 2008.05.07 |
申请号 | CN200680015684.6 | 申请日期 | 2006.05.22 |
申请人 | 恩特格林斯公司 | 发明人 | 艾薇罗·詹姆士·梅斯托布诺;约翰·C.·高卓洛 |
分类号 | C09J175/04(2006.01);C08K3/04(2006.01);C09J5/08(2006.01);B01D46/00(2006.01) | 主分类号 | C09J175/04(2006.01) |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 钟晶 |
主权项 | 1.一种低废气聚胺基甲酸酯,其包含:聚胺基甲酸酯基质、及基本上不包含含硅污染物的添加剂。 | ||
地址 | 美国明尼苏达州 |