发明名称 Iridium conductive electrode/barrier structure and method for same
摘要
申请公布号 EP1035588(B1) 申请公布日期 2008.05.07
申请号 EP20000301789 申请日期 2000.03.06
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA;SHARP LABORATORIES OF AMERICA, INC. 发明人 ZHANG, FENGYAN;MAA, JER-SHEN;HSU, SHENG TENG
分类号 H01L21/8247;H01L29/45;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/8242;H01L23/58;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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