| 发明名称 | 正型抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种含有在酸的作用下碱溶性增大的基材成分(A)和利用曝光产生酸的产酸剂成分(B)的正型抗蚀剂组合物，其中，所述基材成分(A)含有：具有2个以上苯酚性羟基且分子量为300～2500的多元酚化合物(a)中的所述苯酚性羟基被酸解离性溶解抑制基保护的化合物(A1)，而且，所述化合物(A1)的每一分子保护数(个)的标准差(σ<SUB>n</SUB>)不到1或者每一分子的保护率(摩尔％)的标准差(σ<SUB>p</SUB>)不到16.7。 | ||
| 申请公布号 | CN101176041A | 申请公布日期 | 2008.05.07 |
| 申请号 | CN200680016732.3 | 申请日期 | 2006.04.26 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 广崎贵子;盐野大寿;平山拓 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/039(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.一种正型抗蚀剂组合物，其是含有在酸的作用下碱溶性增大的基材成分(A)、和利用曝光产生酸的产酸剂成分(B)的正型抗蚀剂组合物，其中，所述基材成分(A)含有：具有2个以上苯酚性羟基且分子量为300～2500的多元酚化合物(a)中的所述苯酚性羟基被酸解离性溶解抑制基保护的化合物(A1)，而且，所述化合物(A1)的每一分子的保护数(个)的标准差(σn)不到1。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||