发明名称 Metal gate CMOS and method of manfacturing the same
摘要
申请公布号 EP1296366(B1) 申请公布日期 2008.05.07
申请号 EP20020021352 申请日期 2002.09.23
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 HSU, SHENG TENG
分类号 H01L21/336;H01L29/423;H01L21/28;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址