发明名称 METHOD FOR FORMING METAL LINE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100827475(B1) 申请公布日期 2008.05.06
申请号 KR20060102859 申请日期 2006.10.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址