发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100827520(B1) 申请公布日期 2008.05.06
申请号 KR20060042956 申请日期 2006.05.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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