具不共平面电极及水气进出口之微型湿度感测器

摘要

本发明系关于一种具不共平面电极及水气进出口之微型湿度感测器,其包括一基板、一第一电极层、一第一介电层、一第二电极层及一第二介电层。藉由该等第一水气进出口分别形成于该等第一电极上之相对位置,且该等第一水气进出口系分别形成于该等第二电极之间,且该第一电极层及该第二电极层为不共平面,可使得该微型湿度感测器于进行湿度之量测时,具有较佳的湿度感测灵敏度、极高的感测线性度、极低的迟滞效应、优良的稳定性、极佳的精确度及高反应速度。