主权项 |
1.一种研磨盘,其包含有一基板、一主盘体及一研 磨层,其中: 该基板于一侧面系凸设有一与研磨机相结合之结 合柱,于该结合柱之周缘系环设有数个穿孔; 主盘体系与基板异于结合柱一侧面相结合,且于另 一侧面之中心处系凸设有一圆板,该圆板于中心处 系设有一吸孔且径向穿设有三个分别与吸孔相连 通之流道,于圆板的外周缘上系凸设有数个呈放射 状环设之扇型板,使圆板与各扇形板间系形成数个 与流道相连通之沟槽,该主盘体另穿设有数个与沟 槽及基板穿孔相连通之通孔;以及 研磨层系与主盘体相结合,其中该研磨层的中心处 系设有一与圆板吸孔相连通之吸尘孔,且于吸尘孔 外周缘上系穿设有数个分别与通孔及穿孔相连通 之吸入孔。 2.如申请专利范围第1项所述之研磨盘,其中该研磨 层另设有一与主盘体相结合之黏合层,使研磨层透 过黏合层而与主盘体相结合,且该黏合层系设有一 与主盘体吸孔及研磨层吸尘孔相连通之连通孔及 数个与通孔、穿孔及吸入孔相连通之圆孔。 3.如申请专利范围第2项所述之研磨盘,其中部分的 通孔系与三个流道相连通。 4.如申请专利范围第1项所述之研磨盘,其中部分的 通孔系与三个流道相连通。 图式简单说明: 第一图系本创作之立体分解图。 第二图系本创作之剖面侧视图。 第三图系本创作结合于一研磨机之操作剖面侧视 图。 第四图系本创作于操作使用时之局部俯视剖面图 。 |