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发明名称
动态式预烧系统与装置
摘要
本发明提供一种具有一射频信号发生器之预烧装置。一个实施例包括:一印刷电路板,其用于承载复数个准备进行一预烧过程之半导体设备;及一射频信号发生器,其安装在该印刷电路板上,以在该复数个半导体设备之该预烧过程期间将复数个射频信号分别提供给该复数个半导体设备。
申请公布号
TW200819767
申请公布日期
2008.05.01
申请号
TW096110119
申请日期
2007.03.23
申请人
澜起科技有限公司
发明人
周廷兴;文俊;汪东明
分类号
G01R31/28(2006.01)
主分类号
G01R31/28(2006.01)
代理机构
代理人
洪尧顺
主权项
地址
英属维尔京群岛
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