发明名称 半导体测试装置
摘要 一种半导体测试装置,可供一承载至少一组具有多数晶片的待测盘置放,以进行测试,该半导体测试装置包含一检测座、一固定座、一驱动单元、一测试单元,及一显示单元。该检测座包括一检测区,该驱动单元设置在该固定座上且包括一驱动件,及一穿设该固定座中且受该驱动件驱动的伸缩杆。该测试单元包括至少一装设在该检测座内并可判断该组晶片好坏的测试卡、一连接该伸缩杆的移动件,及一与该移动件连接的测试基板,其中,该测试基板上具有多数个与该测试卡电连接的测试埠。该显示单元是用以显示测试后该待测盘上所对应之晶片的测试结果。
申请公布号 TWM331746 申请公布日期 2008.05.01
申请号 TW096215748 申请日期 2007.09.19
申请人 环球联通科技股份有限公司 发明人 张耿豪
分类号 H01L21/66(2006.01) 主分类号 H01L21/66(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 1.一种半导体测试装置,可供一承载至少一组具有 多数晶片的待测盘置放,以进行测试,该半导体测 试装置包含: 一检测座,包括一可供该待测盘置放的检测区; 一固定座,位于该检测座上并与该检测区间隔固设 ; 一驱动单元,设置在该固定座上且包括一驱动件, 及一穿设该固定座中且受该驱动件驱动而可上下 位移的伸缩杆; 一测试单元,包括至少一装设在该检测座内并可判 断该组晶片好坏的测试卡、一连接该伸缩杆且位 于相对靠近该检测区的移动件,及一与该移动件连 接的测试基板,其中,该测试基板上具有多数个与 该测试卡电连接的测试埠;及 一显示单元,设置在该检测座且显露于该检测座表 面,该显示单元是电连接该测试基板之每一测试埠 ,用以显示测试后该待测盘上所对应之晶片的测试 结果; 该移动件受该驱动件驱动而在一测试位置,及一远 离该检测区之非测试位置之间移动,当该移动件位 于该测试位置时,该测试基板之每一测试埠与该待 测盘上相对应的晶片电连接,当该移动件位于该非 测试位置时,该测试基板之每一测试埠与该待测盘 相互远离。 2.依据申请专利范围第1项所述半导体测试装置,其 中,该测试单元包括多数个装设在该检测座内的测 试卡,所述测试卡可检测承载在该待测盘上的多数 组晶片。 3.依据申请专利范围第1项所述半导体测试装置,其 中,该驱动件为一气压缸,可驱动该伸缩杆上下位 移。 4.依据申请专利范围第1项所述半导体测试装置,其 中,该显示单元包括一显示测试进度的进度指示器 、一设定测试时间的时间指示器,及相对应显示该 待测盘之晶片测试结果的测试指示器。 5.依据申请专利范围第1项所述半导体测试装置,更 包含有一平衡单元,该平衡单元包括二分别自邻近 该移动件二端向上延伸的平衡杆,及一位于该驱动 单元之驱动件上方且连接所述平衡杆的连接件,用 于保持该测试单元之移动件在水平状态且不偏倾 。 6.依据申请专利范围第1项所述半导体测试装置,更 包含有一限位单元,该限位单元设置在该连接件上 且用于限制该测试单元之移动件的位移。 7.依据申请专利范围第6项所述半导体测试装置,其 中,该限位单元包括至少一空心且固接在平衡单元 之连接件上的外支撑杆,及一设置于该外支撑杆内 的内支撑杆。 图式简单说明: 图1是一立体图,说明本新型半导体测试装置之较 佳实施例; 图2是一立体图,辅助说明本新型半导体测试装置 之较佳实施例之态样; 图3是一立体图,说明该较佳实施例之测试基板的 态样; 图4是一立体图,辅助说明该较佳实施例在非测试 位置之态样;及 图5是一立体图,辅助说明该较佳实施例在测试位 置之态样。
地址 高雄市左营区文学路413号