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经营范围
发明名称
板状构件检测装置
摘要
提供一种能事前防止感测器单元破损的板状构件检测装置。在底座构件2之长边方向等间隔所设的各感测器安装构件21前端,设有藉由上壁21a与第1、第2侧壁21b,21c而成截面ㄈ字形的保护凹部29。头部单元32,系设于该保护凹部29内侧稍微进入之位置,以避免头部单元32从保护凹部29突出。保护凹部29,可防止头部单元32配置于板状构件W附近时之头部单元32与板状构件W直接撞击。
申请公布号
TW200819779
申请公布日期
2008.05.01
申请号
TW095148679
申请日期
2006.12.25
申请人
神视股份有限公司
发明人
山本哲也;冈桥宽和
分类号
G01V8/20(2006.01);H01L21/67(2006.01)
主分类号
G01V8/20(2006.01)
代理机构
代理人
桂齐恒;阎启泰
主权项
地址
日本
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