半导体测试装置

摘要

本发明系提供一种半导体测试装置,系可在线上对测试控制器配置测试接脚群,并个别地控制测试接脚群者。本实施形态之半导体测试装置具有:测试控制器10─1、…、10─N;可变时钟产生器24─1、...、24─N,系用以输出与对应之测试控制器10─1、...、10─N所输出之控制讯号具有一定相位关系的可变时钟讯号者;测试接脚群12─1、...、12─N,系与可变时钟讯号同步,并可根据控制讯号进行DUT之测试者;NN开关矩阵16,系可对已配置于测试控制器10─i之测试接脚群12─j供给来自测试控制器10─i之控制讯号者;以及,NN开关矩阵18,系可将来自与测试控制器10─i对应之可变时钟产生器24─i的可变时钟讯号供给至测试接脚群12─j者。