用于平面化之含视窗之抛光垫

摘要

本发明揭示一种包括一视窗之抛光垫,该抛光垫可适用于抛光物品且尤其适用于微电子器件(诸如,半导体晶圆)之化学机械抛光或平面化。该抛光垫之该视窗为至少部分透明,且因此,可特别适用于装备有贯穿压板晶圆计量之抛光或平面化工具。