有机蒸镀器与镀覆设备及其使用方法

摘要

一种有机蒸镀器用于以一镀覆速率施加有机蒸气至基板,此有机蒸镀器包括具有至少一喷嘴出口的分配管,与一用于获取与有机蒸气至少一特征性质有关之测量数据的测量装置。