大气真空溅镀纺织纤维丝之电浆改质方法及装置

摘要

一种大气真空溅镀纺织纤维丝之电浆改质方法及装置,系以强力一复数组真空帮浦将串联式一复数组真空腔体逐步抽至高真空状态,并于真空环境下以磁控溅镀或蒸镀之方式在纺织纤维丝表面镀制金属膜或非金属膜。本发明之装置含镀膜腔体及真空抽气系统。成卷纺织纤维丝经由具凹槽之一独立滚轮传送通过平行长条型狭缝进入腔体,将气导减至最低,且每腔体间亦以适当长度之一长条型狭缝隔腔板做隔绝,满足差压抽气之要求,以达连续制程及降低成本效能。