| 摘要 |
本发明揭露一种包含试剂供应容器(12)之系统(10),该容器包括一容纳组成物之瓶(14),该组成物包含一溶解或分散于储存液体(18)内的化学试剂,储存液体(18)与化学试剂可逆地交互作用以将化学试剂储存于其中,及配置一超音波能量源(19、32、34)以引入超音波能量至该组成物中,而从该组成物释出化学试剂,以由试剂供应容器的瓶中分配出去。超音波能量源可提供于容器内,或作为一外超音波能量冲击单元(112)元件的一部份,其中储存之化学试剂,例如微电子装置制造试剂,由液体储存介质萃取出以输送至试剂利用制程或设备(38)。液体储存介质可例如包括一可逆性吸取化学试剂的离子性液体,及接着可在曝于超音波能量下之分配状况下释出。 |
