液体循环回收制程

摘要

一种液体循环回收制程,用于将一机台排放出的待回收液作回收处理,所述待回收液是例如光阻剂,而该液体循环回收制程包含:(1)收集自该机台排放出的待回收液;(2)检测所述待回收液,当待回收液检测合格时就作回收利用;当待回收液检测不合格时,在待回收液中加入一调和液,并重新检测该待回收液,及(3)将检测合格的待回收液送回该机台重覆使用。藉由在生产线之线上(in-line)作业时,就将待回收液于线上经过检测,并与调和液混合再生处理以立即回收使用,使本发明兼具有避免浪费药液、降低生产成本等优点。